Минпромторг России выделит 1,4 миллиарда рублей на разработку установки для жидкостной химической обработки кремниевых пластин. Эта мера направлена на импортозамещение отечественного оборудования, которое в настоящее время часто заменяется аналогами из США и Японии.
Что представляет собой установка
Разрабатываемая установка предназначена для травления, очистки и сушки кремниевых пластин диаметром 100, 150 и 200 мм. По условиям тендера, установка будет способна обрабатывать до 100 пластин за цикл, используя минимум восемь различных химических реагентов.
Ключевые узлы установки, такие как ротор, система подачи химии и контроллер, должны быть произведены в России. Импортные компоненты допускаются только по согласованию с заказчиком.
Процесс и преимущества жидкостного травления
Жидкостное травление — это метод, который позволяет равномерно удалять материал с поверхности кремниевых пластин, что критически важно для качества будущих микросхем. Этот процесс значительно дешевле и проще в организации по сравнению с плазмохимическим травлением, что делает его более подходящим для серийного производства.
Стабильность процессов травления, промывки и сушки пластин является необходимым условием для надежности всего технологического процесса, что признано важным для высоких стандартов в микроэлектронике.
Что это значит для российской электроники
Запланированные инвестиции в размере 1,4 миллиарда рублей позволят создать отечественную технологическую базу и снизить зависимость от иностранных поставок. Ключевым фактором для успеха проекта станет эффективная кооперация с уже существующими компетенциями в области автоматизации и разработки химически стойких материалов в России.
Минпромторг планирует завершить работы к ноябрю 2029 года, и этот шаг станет частью более широкой программы по развитию электронного машиностроения в стране.