Reuters впервые назвал компанию, которая стоит за китайской попыткой собрать собственный иммерсионный DUV-сканер: речь идет о Shanghai Aishengna Electronic Technology Group. Для рынка это важный сдвиг: история про «когда-нибудь Китай сделает свой литограф» превратилась в проект с конкретным юрлицом, производственным планом и предполагаемыми заказчиками.
Но путать это с прорывом уровня ASML пока рано. Даже если Aishengna действительно доведет систему до поставок, один сканер не решает проблему: для фабрики нужны еще track-комплексы, фоторезисты, лазеры, оптика и сервис, а именно там зависимость Китая от внешних поставщиков остается самой болезненной.
Что известно о проекте Aishengna
По данным Reuters, Shanghai Aishengna Electronic Technology Group ведет выпуск отечественных иммерсионных DUV-машин после консолидации команд из китайских литографических проектов. Tom's Hardware со ссылкой на отраслевые источники пишет, что компанию зарегистрировали в августе 2023 года, а среди участников проекта называют команды Shanghai Yuliangsheng Technology и SMEE, известной как главный китайский разработчик литографического оборудования.
Официального подтверждения от самих компаний пока нет: Aishengna, SMEE и Yuliangsheng не ответили на запросы журналистов. При этом The Information, на которое ссылаются Reuters и Tom's Hardware, сообщало о первых поставках уже в 2026 году для SMIC, Hua Hong Semiconductor и ChangXin Memory Technologies, а план производства оценивается примерно в пять машин в 2026-м и около двадцати в 2027-м.
Один сканер не закрывает всю цепочку
Главная проблема не в том, можно ли показать рабочий сканер, а в том, можно ли встроить его в реальную фабрику. Рядом со сканером должен работать track-комплекс, который наносит фоторезист, проводит термообработку и проявку и синхронизируется со всей линией. Здесь Китай все еще догоняет лидеров: по отраслевым оценкам, Tokyo Electron контролирует около 89% мирового рынка coater/developer-систем, а китайская Shenyang Kingsemi пока работает на уровнях, далеких от передовых техпроцессов.
С фоторезистами ситуация не лучше. Ключевые позиции в сегменте ArF-фоторезистов занимают японские JSR, Tokyo Ohka Kogyo, Shin-Etsu и Fujifilm. Доля китайских производителей именно в нише ArF immersion остается минимальной. Иначе говоря, даже удачный сканер без стабильной химии и совместимого техпроцесса рискует остаться дорогим демонстратором, а не полноценным фабричным инструментом.
Лазеры и оптика остаются узким местом
Еще один тяжелый участок — источники света и проекционная оптика. Рынок ArF excimer-лазеров по-прежнему контролируют Cymer, Gigaphoton и Coherent, причем Cymer давно принадлежит ASML. Китайская Beijing RSLaser уже показывала собственные эксимерные лазеры, но публично известные параметры таких систем пока относятся скорее к более старым классам оборудования, чем к современным иммерсионным DUV-сканерам для 28 нм и ниже.
С оптикой разрыв еще заметнее. Carl Zeiss SMT много лет остается фактически безальтернативным поставщиком проекционной оптики для ASML. Что именно стоит внутри машин Aishengna, публично не раскрыто. Поэтому главный скепсис отрасли сейчас не в самом факте существования проекта, а в вопросе, насколько китайская сторона закрыла самые сложные компоненты без критической внешней зависимости.
Почему это важно для рынка
Для китайских фабрик вроде SMIC и CXMT такой проект важен даже в компромиссном виде. Без доступа к EUV им приходится сильнее полагаться на иммерсионную DUV-литографию и многократные экспозиции, а это упирается в доступность самих сканеров и их обслуживание. На этом фоне собственная машина — не замена ASML, а страховка на случай новых ограничений. Тем более что в США обсуждают ужесточение правил не только для поставок, но и для сервиса уже установленного DUV-оборудования.
Для русскоязычной ИТ-аудитории вывод приземленный: борьба за вычислительные мощности и рынок ИИ сегодня решается не только моделями и ускорителями, но и очень «железными» вещами вроде фоторезиста, лазеров и сервисных контрактов. Если Китай доведет такой сканер до серии, давление на глобальную цепочку поставок полупроводников станет еще сильнее, даже если до уровня ASML ему пока далеко.
Дальше рынок будет смотреть не на громкость заголовков, а на три вещи: реальные поставки в 2026 году, стабильность работы машин на фабрике и степень локализации критических компонентов.
Оригинальные материалы: и .